金屬材料表面分析是對金屬表面或界面上只有幾個原子層厚的薄層進行組分、結構和能態(tài)等分析的材料物理試驗。也是一種利用精密儀器分析手段，揭示材料及其制品的表面形貌、成分、結構或狀態(tài)的技術。
檢測項目
SEM斷口觀察 + 微區(qū)污染EDS分析：
觀察金屬、塑料、陶瓷等固體材料的表面微觀形貌以及測量微小尺寸。分析固體表面微區(qū)
含有的元素種類,各元素的 相對含量以及各元素在特定區(qū)域內(nèi)的含量分布情況 。
※表面成份 + 深度 GD-OES分析：
既可以進行基體成分分析,如硬質(zhì)合金材料,也可以進行表面成分-深度剖析,如PVD薄膜、
電鍍層、熱處理硬化層、涂裝層、陽極氧化膜及化膜的表面工藝分析。
※制程質(zhì)量缺陷分析
SEM/EDS
功能: 微形貌觀察、微小尺寸量測、微區(qū)成分分析
?放大倍率: 5倍~30萬倍
?探測器分辨率: 133eV
?可分析元素范圍: Be(4)~U(92)